XPS, 全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy（X射线光电子能谱）, 是一种使用电子谱仪测量X-射线光子辐照时样品表面所发射出的光电子和俄歇电子能量分布的方法。XPS可用于定性分析以及半定量分析, 一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量或浓度。
X射线入射样品的表面，可以激发出轨道芯能级中的电子，叫做光电子，基于爱因斯坦的光电发射理论，遵循能量守恒公式：入射源的能量等于光电子的动能和结合能之和，不同元素不同轨道岀射的光电子具有不同的特征结合能信息，因此可以用结合能的数值来表征不同的元素和化学态信息。
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